摘要：本文主要介绍了一种采用抛光垫夹持锗片进行抛光的新型抛光工艺。通过对比选用不同型号的抛光布，施加不同抛光压力及采用 不同抛光液配比进行工艺对比试验，最终确定锗片抛光工艺，并对采用该工艺抛光锗片进行测试分析。

关键词：抛光垫、抛光布、抛光压力、抛光液配比

DOI：10.19569/j.cnki.cn119313/tu.0

来源：《城市建设理论研究(电子版)》 - 2017年19期